NIR Plan Apo 50X/0.67 – シリコン透過イメージングおよびファイバーレーザープロセスモニタリング用無限遠補正冶金対物レンズ
NIR Plan Apo 50X/0.67は、近赤外線(NIR)用途向けに最適化された、プレミアムな無限遠補正型平面アポクロマート顕微鏡対物レンズです。開口数(NA)0.67、作動距離(WD)10mmで、380~700nmの可視光域と重要な1064nm波長域において、優れた解像度(0.5µm)と優れた近赤外線透過率を実現しています。そのため、シリコンウェハ裏面検査、シリコン貫通ビア(TSV)計測、ファイバーレーザー加工のリアルタイムモニタリングに最適です。