UVレーザーマイクロマシニングおよび半導体アプリケーション向け高解像度テレセントリックF-シータスキャンレンズ

溶融石英製テレセントリックF-シータスキャンレンズ

テレセントリックF-シータスキャンレンズは、偏向したオフアクシスレーザービームを、オンアクシス集束ビームと同様にワークピースに垂直に集束できる特殊なレンズシステムです。テレセントリックスキャンレンズの利点は、視野湾曲を最小限の歪みに抑えつつ、スキャンフィールド全体で優れたスポット品質を実現できることです。高出力レーザーおよび超高速レーザー光源向けには、熱レンズ効果と焦点シフトを最小限に抑えるTSL-QシリーズテレセントリックF-シータスキャンレンズをご用意しています。

• 部品番号：TSL-355-50-103Q
• EFL（mm）：103.0
• スキャン範囲（mm）：50×50
• 入力ビーム Φ (1/e²) (mm): 9.0
• ネジ山：M85x1
• WD (mm): 137.4
• 窓径×厚さ（mm）：80×2