3波長アクロマティックF-θレンズ

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標準的なレーザースキャンレンズは通常、単一の波長用に設計されているため、異なるレーザーに切り替えると、焦点ずれ、ぼやけたスポット、ぼやけたマーキングが発生します。デュアルバンドスキャンレンズは、2つの波長間の色収差のみを補正できます。

3波長アクロマティックスキャンレンズは、3つの異なるレーザー波長の色収差を同時に除去する特殊なスキャンフォーカシングレンズです。3つの波長はすべて同じ光学系を共有しているため、プロセスを切り替えるにはレーザー光源を変更するだけで済み、レンズを分解したり再フォーカスしたりする必要はありません。そのため、マルチプロセス複合処理システムに最適です。

最も一般的な工業用波長の組み合わせは、355 nm（紫外線）、532 nm（緑色光）、および1064 nm（赤外線）です。

光学性能における主要な利点

1. 焦点位置を合わせた3波長アライメントによる、一貫したスポット品質

355/532/1064 nm（またはカスタムのRGB、UV-VIS-SWIRバンドの組み合わせ）の同時色収差補正。3つの波長の焦点面が一致するため、走査領域全体にわたってスポットの真円度が一定に保たれ、軸方向の焦点ずれや周辺部の色収差歪みは発生しません。

2. 高精度な複合材加工と最小限の位置決め誤差

色収差に加え、像面湾曲、歪曲収差、球面収差、コマ収差も最適化されています。高精度なf-θ走査により、ワークピースの要件に応じた波長選択が可能です。部品の多波長複合加工により、加工精度が大幅に向上します。

3.低視野湾曲と優れた全視野スポット均一性

アプリケーションシナリオ

343 nmはフォトレジストなどの有機材料の除去に、515 nmはパッシベーション層からの金属またはポリシリコンの除去に、1030 nmはパッシベーション層からのITOの除去にそれぞれ適しています。パネルディスプレイの修理および検査用途に最適です。

製品パラメータ：

お客様のご要望に応じたカスタマイズデザインも可能です。